光氧催化工作原理大部份应用于VOCs处理的UV光催化处理设备是引用过去除臭杀菌的技术原理，通常采用双波长紫外光管，将能量主要用于转换臭氧，用普通二氧化钛材料作为催化剂，虽除污效率号称达到80%以上。实际现在使用的UV光催化处理VOCs设备的效率均较低，在无计算技术的控制下，会大量生成臭氧和中间副产物。催化燃烧工作原理催化燃烧设备根据吸附（效率高）和催化燃烧（节能）两个基本原理设计，采用双气路连续工作，一个催化燃烧室，两个或多个吸附床交替使用。

防止燃烧、和火灾事故的措施。在处理燃烧气体或高温气体时，常常有未完全燃烧的粉尘、火星、有燃烧和性气体等进入系统之中，有些粉尘具有自燃着火的性质或带电性，同时，大多数滤料的材质又都是易燃烧、磨擦易产生积聚静电的，在这样的运转条件下，存在着发生燃烧、事故的危害，这类事故的后果往往是很严重的。